GIST超纯气体过滤器专为电子级气体超纯净化开发设计，过滤精度可达3nm，设备结构紧凑，强度高，与所有类别的半导体工艺气体具有良好的兼容性，特别适用于用于惰性气体和反应性气体的过滤。

产品特色

• 316L 不锈钢电子级抛光外壳

• 高通量低压损

• 优异的化学相容性

• 耐高温、高压

• 100％完整性测试

• 100％氦气泄漏测试

• 洁净室制造和包装